日本JIMA RT RC-05B分辨率测试卡

日本JIMA RT RC-05B分辨率测试卡产品简介：

JIMA(日本检验仪器制造商协会)分辨率测试图 JIMA RT RC-05B 是使用新半导体光刻技术制作的显微图。

它用于校准和监控系统分辨率，并确保您的微焦点或纳米分辨率 X 射线检测系统的高质量结果。JIMA RT RC-05B 支持 3 微米到 50 微米之间的分辨率。这对应于 6 微米和 100 微米之间的焦点尺寸。

应用：

修复 X 射线系统操纵器上的分辨率测试。选择探测器、样品和试管的距离，以实现高几何放大倍率。

选择所需的 X 射线参数。将分辨率测试放置在管的前面，使线条图案可见。使用操纵器移动测试图，以便看到下一个较小的线对束。

只要线条清晰可见，就继续。焦点大小近似计算为小分辨率乘以 2。

注意：尽量减少辐射的持续时间。在手术过程中关闭 X 射线。目标前面的热量可能会损坏测试图。

日本JIMA RT RC-05B分辨率测试卡技术参数：

狭缝尺寸：3、4、5、6、7、8、9、10、15、20、25、30、35、40、45 和 50 微米

测试框架尺寸：40 x 30 x 3 mm (WxHxD)

芯片尺寸：8 x 8 x 0.2 mm (WxHxD)

吸收材料厚度：>1.0 µm 金

*有图案尺寸均已通过 SEM 在典型点处测量。数据显示在认证文件中。

图案精度：[-10%, +10%]以内

工作温度范围：10° 至 70°C。