德国Pfeiffer ASM-390氦质谱检漏仪

德国Pfeiffer ASM-390氦质谱检漏仪产品简介：

Pfeiffer ASM 390 氦气检漏仪是一款移动式检漏仪，针对从小量到大量测试进行了优化，性能良好。ASM 390 配备一台无油高功率备用泵，流量高达 35 m³/h。氦气抽速高达 10 L/s，确保了有效的测试。Pfeiffer ASM 390 氦气检漏仪设计紧凑，在嗅探模式下氦气蕞小可检测泄漏率为 1 × 10⁻⁹ Pa ·m³ / s，在真空模式下蕞小可检测泄漏率为 1 × 10⁻¹³ Pa ·m³ / s。其大型彩色触摸屏可旋转和拆卸，方便技术人员轻松操控显示。直观的菜单和用于存储测试数据的集成式 SD 存储卡也是 Pfeiffer ASM 390 氦气检漏仪的关键组件。

德国Pfeiffer ASM-390 氦质谱检漏仪产品特点：

• 干式清洁泵，具有高备用容量(35 m³/h)

• 大型可旋转彩色触摸显示屏，集成工具箱和存储空间

• 紧凑且符合人体工程学的设计，方便进入所有测试区域

• 启动迅速，泵送速度快，适用于洁净环境中的高要求应用

德国Pfeiffer ASM-390 氦质谱检漏仪产品应用：

• 汽车与交通运输：泄漏检测与下线(EoL)测试

• 电池：泄漏检测与下线(EoL)测试(主系统)

• 化工：泄漏检测

• 显示器：预抽真空室(Load Lock)、等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)、物理气相沉积 (PVD)

• 氢能经济：泄漏检测与下线(EoL)测试(主系统)

• 医疗：医疗器械泄漏测试

• 制药与生物技术：泄漏检测

• 研发：高能物理、泄漏检测

• 制冷与空调：泄漏检测与下线(EoL)测试

• 半导体：LPCVD / 扩散、高流量应用、去胶 / 灰化、PVD、检测与量测、多晶硅刻蚀、光沉积、离子注入、PECVD、光刻、金属与高K(High-k)材料刻蚀、氧化层刻蚀、预抽真空与传输 (Load Lock & Transfer)、钴、WCVD、TiN 及 TDMAT、ALD、退火

• 工业气体：液化、绝缘真空、气体输送、气瓶充装

• 薄膜涂层：实验室涂层

德国Pfeiffer ASM-390氦质谱检漏仪技术参数：

仪器配件：

• 配备 5 米或 10 米软管的吸枪探头

• 氦气喷枪

• 遥控器

• 气瓶支架

• 粉尘过滤器